Superseded Standard
Historical

DIN 50438-1:1994-09

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes in Silicium mittels Infrarot-Absorption - Teil 1: Sauerstoff

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 09/01/1994
Page Count 8
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
No products.