DIN 50441-3:1985-09
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DIN 50441-3:1985-09

Testing of materials for semiconductor technology; measurement of the geometric dimensions of semiconductor slices; determination of flatness deviation of polished slices by means of the multiple beam interference

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben; Bestimmung der Ebenheitsabweichung von polierten Scheibenoberflächen mit Hilfe des Vielstrahl-Interferenz-Verfahrens

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 09/01/1985
Page Count 8
EAN ---
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Weight (in grams) ---
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