DIN 50450-2:2025-07
Superseded Draft standard
Historical

DIN 50450-2:2025-07

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 2: Determination of Oxygen impurities in Nitrogen, Argon, Helium, Neon and Hydrogen using a galvanic cell
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Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 07/01/2025
Page Count 8
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Weight (in grams) ---

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