DIN 50451-4:2005-05

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)

Traduction automatique de l'anglais :
Essais de matériaux pour la technologie des semi-conducteurs - Détermination des oligo-éléments dans les liquides - Partie 4 : Détermination de 34 éléments dans l'eau ultra pure par spectrométrie de masse avec plasma à couplage inductif (ICP-MS)

Essais des matériaux pour la technologie des semi-conducteurs - Détermination des éléments en traces dans les liquides - Partie 4: Détermination de 34 éléments dans l'eau de grande pureté par spectrométrie de masse avec plasma à couplage inductif

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS)