DIN EN 62047-14:2010-10
Superseded Draft standard
Historical

DIN EN 62047-14:2010-10

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 47F/59/CD:2010)
Most recent standard

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe (IEC 47F/59/CD:2010)

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 10/01/2010
Page Count 8
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
No products.

Previous versions

Contact us