Superseded
Draft standard
Historical
DIN IEC 62047-10:2010-05
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials (IEC 47F/48/CD:2010)
Preview
Summary
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 47F/48/CD:2010)
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 05/01/2010 |
| Page Count | 8 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
No products.