DIN IEC 62047-12:2010-05
Superseded Draft standard
Historical

DIN IEC 62047-12:2010-05

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure (IEC 47F/43/CD:2010)

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen (IEC 47F/43/CD:2010)

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 05/01/2010
Page Count 8
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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