Superseded
Draft standard
Historical
DIN IEC 62047-4:2006-09
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 47/1857/CD:2006)
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Summary
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik (IEC 47/1857/CD:2006)
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 09/01/2006 |
| Page Count | 8 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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