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NF EN 62047-1, C96-050-1 (11/2016)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1 : terms and definitions
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Summary
Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le procédé de production de ces dispositifs.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 11/01/2016 |
| Release Date | 11/01/2016 |
| Page Count | 38 |
| Themes | Electrotechnologies |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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