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NF EN 62047-10, C96-050-10 (12/2012)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10 : micro-pillar compression test for MEMS materials - Dispositifs à semiconducteur
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Summary
Le présent document spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 12/01/2012 |
| Release Date | 12/01/2012 |
| Page Count | 15 |
| Themes | Electrotechnologies |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
