NF EN 62047-12, C96-050-12 (07/2012)
Active Standard
Most Recent

NF EN 62047-12, C96-050-12 (07/2012)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12 : bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures - Dispositifs à semiconducteurs

Summary

Le présent document spécifie une méthode d'essai de fatigue en flexion utilisant les vibrations à la résonance des structures mécaniques à très petite échelle des systèmes microélectromécaniques (MEMS), et des micromachines.

Technical characteristics

Publisher Association Française de Normalisation (AFNOR)
Publication Date 07/01/2012
Release Date 07/01/2012
Page Count 35
Themes Electrotechnologies
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
No products.

Previous versions

Contact us