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NF EN 62047-14, C96-050-14 (12/2012)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14 : forming limit measuring method of metallic film materials - Dispositifs à semiconducteurs
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Summary
Le présent document fournit les définitions et décrit les procédures de mesure de la limite de formage des matériaux à couche métallique d'une épaisseur comprise entre 0,5 mm et 300 mm. Les matériaux à couche métallique décrits dans le présent document sont généralement utilisés dans les composants électriques, les MEMS et les microdispositifs.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 12/01/2012 |
| Release Date | 12/01/2012 |
| Page Count | 21 |
| Themes | Electrotechnologies |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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