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NF EN 62047-15, C96-050-15 (11/2015)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 15 : méthode d'essai de la résistance de collage entre PDMS et verre
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Summary
Le présent document décrit la méthode d'essai de la résistance de collage entre polydiméthylsiloxane (PDMS) et verre. Le caoutchouc de silicone, PDMS, est utilisé pour la réalisation de puces microfluidiques, fabriquées en utilisant des processus de lithographie et de moulage d'empreinte.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 11/01/2015 |
| Release Date | 11/01/2015 |
| Cancellation Date | 09/01/2024 |
| Page Count | 16 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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