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NF EN 62047-26, C96-050-26 (06/2016)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26 : description and measurement methods for micro trench and needle structures
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Summary
Le présent document spécifie des descriptions de structures de tranchées et de structures d'aiguille à l'échelle micrométrique. En outre, il donne des exemples de mesures de la géométrie des deux structures.Le présent document s'applique à la conception structurelle de procédés MEMS et à leur appréciation géométrique.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 06/01/2016 |
| Release Date | 06/01/2016 |
| Page Count | 32 |
| Themes | Electrotechnologies |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
