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NF ISO 14237, X21-070 (09/2010)
Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials - Analyse chimique des surfaces
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Summary
Le présent document spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 10 exposant 16 atomes/cm3 à 1 x 10 exposant 20 atomes/cm3.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 09/01/2010 |
| Release Date | 08/01/2010 |
| Page Count | 25 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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