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NF ISO 14606, X21-062 (04/2008)
Surface chemical analysis - Sputter depth profiling - Optimization using layered systems as reference materials - Analyse chimique des surfaces
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Summary
La présente Norme donne des lignes directrices sur l'optimisation des paramètres de profilage en profondeur par pulvérisation à l'aide de matériaux mono- et multicouches de référence appropriés afin d'atteindre une résolution en profondeur optimale en fonction des paramètres de l'instrument en spectroscopie des électrons Auger, en spectroscopie de photoélectrons par rayons X et en spectrométrie de masse des ions secondaires.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 04/01/2008 |
| Release Date | 03/01/2008 |
| Page Count | 23 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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