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NF ISO 16700, X21-005 (04/2006)

Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification - Analyse par microfaisceaux

Summary

Le présent document indique une méthode pour calibrer le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. Il ne s'applique pas au MEB dédié à la mesure de dimension critique.

Technical characteristics

Publisher Association Française de Normalisation (AFNOR)
Publication Date 04/01/2006
Release Date 03/01/2006
Cancellation Date 12/15/2017
Page Count 22
Themes Industry
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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