NF ISO 17974, X21-067 (05/2009)

Le présent document spécifie un procédé d'étalonnage de l'échelle d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger, utilisé pour l'analyse élémentaire et de l'état chimique des surfaces. Le procédé d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique indiquée dans le présent document utilise des échantillons métalliques de cuivre pur (Cu), et soit d'aluminium (AI) soit d'or (Au), et est applicable aux spectromètres d'électrons Auger qui mesurent des spectres directs avec une résolution relative de 0,2 % ou meilleure. Ce procédé est valable pour une gamme d'énergie cinétique allant de 0 eV à 2 250 eV si on utilise l'or, et de 0 eV à 1 550 eV si on utilise l'aluminium. Le présent document n'aborde pas les éventuels défauts des instruments, dans la mesure où les essais requis prendraient beaucoup de temps et nécessiteraient à la fois les connaissances d'un spécialiste et un équipement particulier. Cependant, il aborde les problèmes essentiels et courants rencontrés lors de l'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des instruments AES. Il n'est applicable qu'aux instruments comportant un canon à ions pour le nettoyage par pulvérisation.