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NF X10-530 (11/1975)

Vacuum technology - Mass spectrometer-type leak-detector calibration. - VAKUUMTECHNIK - KALIBRIERUNG VON LECKDETEKTOR - MASSENSPEKTROMETERN

Summary

La présente norme spécifie les méthodes à utiliser pour l'étalonnage des spectromètres de masse détecteurs de fuite. Elle ne traite que des détecteurs de fuites avec installation de vide poussé incorporée permettant de maintenir l'élément sensible (cellule spectrométrique) à basse pression. Les éléments sensibles sans cette installation de vide sont explicitement exclus du document. Il va sans dire également que les méthodes ne sont pas censées représenter un essai de réception complet. Ce genre d'essai fera l'objet d'un autre document. La présente norme concerne l'emploi de l'hélium 4. Les méthodes décrites peuvent néanmoins être utilisées pour d'autres gaz d'épreuve tels que l'argon 40, moyennant les précautions appropriées. La présente norme s'applique exclusivement aux détecteurs de fuites ne pouvant détecter les fuites inférieures à 10 puissances-12 N.m/s (10 puissances-11 torr.l/s). Elle décrit deux méthodes, l'une pour déterminer les flux de fuite minimale décelable et l'autre pour déterminer la concentration minimale décelable. Ces deux méthodes sont applicables dans le cas d'utilisation du détecteur de fuite sous vide poussé et à des pressions supérieures à la pression atmosphérique respectivement.

Notes

Norme enregistrée transformée en norme homologuée le 20 février 1998

Technical characteristics

Publisher Association Française de Normalisation (AFNOR)
Publication Date 11/01/1975
Release Date 11/01/1975
Cancellation Date 04/03/2010
Page Count 16
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Weight (in grams) ---
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