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Historical

VDI/VDE 2655 Blatt 1.3:2018-03

Optical measurement of microtopography - Calibration of interference microscopes for form measurement

Summary

Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung

Technical characteristics

Publisher Verein Deutscher Ingenieure e.V. (VDI)
Publication Date 03/01/2018
Page Count 31
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Weight (in grams) ---
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