Superseded
Draft standard
Historical
DIN 50441-4:1997-11
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 4: Slice diameter, diameter variation, flat diameter, flat length, flat depth
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Summary
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben - Teil 4: Scheibendurchmesser, Durchmesservariation, Flatdurchmesser, Flatlänge, Flattiefe
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 11/01/1997 |
| Page Count | 8 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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