Superseded Draft standard
Historical

DIN 50447:1994-04

Testing of materials for semiconductor technology; contactless determination of the electrical sheet resistance of semiconductor layers with the eddy-current method

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Kontaktlose Messung des elektrischen Flächenwiderstandes von Halbleiter-Schichten mit dem Wirbelstrom-Verfahren

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 04/01/1994
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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