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DIN 50447:1995-04

Testing of materials for semiconductor technology - Contactless determination of the electrical sheet resistance of semiconductor layers with the eddy-current method

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Kontaktlose Messung des elektrischen Flächenwiderstandes von Halbleiterschichten mit dem Wirbelstrom-Verfahren

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 04/01/1995
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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