Superseded Standard
Historical

DIN 50452-2:1991-03

Testing of materials for semiconductor technology; test method for particle analysis in liquids; determination of particles with optical particle counters

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Verfahren zur Teilchenanalytik in Flüssigkeiten; Teilchenbestimmung mit optischen Durchflußpartikelzählern

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 03/01/1991
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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