Superseded Draft standard
Historical

DIN 50455-2:1998-07

Testing of materials for semiconductor technology - Methods for characterizing photoresists - Part 2: Determination of photosensitivity of positive photoresists

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 2: Bestimmung der Lichtempfindlichkeit von Positiv-Fotolacken

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 07/01/1998
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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