Superseded , Reaffirmed Standard
Historical

VDI/VDE 2656 Blatt 1:2008-06 (R2014)

Determination of geometrical quantities by using of Scanning Probe Microscopes - Calibration of measurement systems.

Summary

Bestimmung geometrischer Messgrößen mit Rastersondenmikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen / Achtung: Bestätigt 2014-01

Notes

Approved 2014-01

Technical characteristics

Publisher Verein Deutscher Ingenieure e.V. (VDI)
Publication Date 06/01/2008
Confirmation Date 01/01/2014
Page Count 82
EAN ---
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Weight (in grams) ---