Superseded
Draft standard
Historical
DIN 32567-3:2024-11
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
Summary
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 11/01/2024 |
| Page Count | 8 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
Replaces
01/10/2014
Superseded
, Under review
Historical
Previous versions
01/10/2014
Superseded
, Under review
Historical