Superseded Draft standard
Historical

DIN 32567-3:2024-11

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices

Summary

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 11/01/2024
Page Count 8
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Weight (in grams) ---