DIN 32567-3:2025-05
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DIN 32567-3:2025-05

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices

Summary

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 05/01/2025
Page Count 8
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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