Superseded Draft standard
Historical

DIN 50438-3:1999-08

Testing of materials for use in semiconductor technology - Determination of impurity content of silicon by infrared absorption - Part 3: Boron and phosphorus

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes in Silicium mittels Infrarot-Absorption - Teil 3: Bor und Phosphor

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 08/01/1999
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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