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DIN 50441-2:1998-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 2: Testing of edge profile

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben - Teil 2: Prüfung des Kantenprofils

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 11/01/1998
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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