Superseded
Standard
Historical
DIN 50441-5:1998-05
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation
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Summary
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben -Teil 5: Begriffe zur Gestaltung- und Ebenheitsabweichung
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 05/01/1998 |
| Page Count | 8 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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